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11月14日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF基金（589020）跌2.03%，成交额3185.63万元。最新份额为3.4亿份，最新资产净值计算值为3.94亿元。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF基金跟踪标的为上证科创板半导体材料设备主题指数，成立（2025-08-27）以来超额回报为-1.76%，近一个月超额回报为-0.01%，管理人为鹏华基金公司，基金经理为林嵩。